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膜厚测量

发布时间:2019-08-02 08:22:15

      薄膜测量系统是专门针对半导体、材料、生物医学薄膜的实验室分析及在线监测开发的,用于测量薄膜反射率及膜层厚度的综合测量系统。该系统基于白光反射及干涉的原理来确定光学薄膜的厚度。可以通过对白光干涉图样进行数学运算来计算出薄膜厚度。对于单层膜来说,如果已知薄膜的n和k值就可以计算出它的物理厚度。

      AvaSoft-Thinfilm软件内有一个包含大部分常用材料和膜层的n值和k值的数据库。TFProbe多层膜测量软件可以测量多达5层膜的厚度和光学常数(n、k值),实现实时或在线膜厚和折射率监控。

参数指标:

  • 光谱范围 200~1100nm 测量速度 2 ms minimum

  • 膜厚范围 10nm~200μm基底厚度up to 50mm thick

  • 分辨率 1nm 测量精度 better than 0.25




典型应用领域:

  • Semiconductor fabrication (PR, Oxide, Nitride..) 半导体制造

  • Liquid crystal display (ITO, PR, Cell gap…..) 液晶显示器

  • Forensics, Biological films and materials 医学、生物薄膜或材料

  • Inks, Mineralogy, Pigments, Toners 印刷油墨,矿物学,颜料,碳粉

  • Pharmaceuticals, Medial Devices 制药

  • Optical coatings, TiO2, SiO2, Ta2O5….. 光学薄膜

  • Semiconductor compounds 半导体化合物

  • Functional films in MEMS/MOEMS 功能薄膜材料

  • Amorphous, nano and crystalline Si 非晶硅

        

        AvaSoft-Thinfilm应用系统可以搭配多种应用系统附件,例如光纤多路复用器、显微镜、过真空装置等附件,实现多点位同时测量、微区测量、过程监控等复杂领域的应用。 例如:AvaSoft-Thinfilm应用系统能够实时监控膜层厚度,并且可以与其他AvaSoft应用软件如XLS输出到Excel软件和过程监控软件一起使用。